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ITO target 제조사업장의 접합공정 및 마감공정에서 근로자의 인듐노출수준 평가 및 측정의 정확도에 관한 연구

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Abstract
국내 모 ITO target 제조 사업장의 접합공정과 마감공정에서 근로자의 인듐노출과 작업장 공기 중 인듐농도를 측정하였다. 개인시료와 장소시료 모두 호흡성 먼지와 총먼지를 채취하여 인듐을 분석하였다. 인듐측정 및 분석의 정확도를 평가하기 위해 작업자에게서 동시에 2개 시료를 한 쌍으로 채취하거나, 동일지점에서 동시에 여러 개의 시료를 채취하였다. 여러 개의 동일한 시료는 두 실험실에서 나누어 분석하거나 한 실험실에서 모두 분석하여 공기 중 인듐의 시료채취 및 분석에 관한 정확도를 평가하였다. 이러한 실험적 연구로부터 다음과 같은 결과를 얻었다.
근로자의 호흡성 먼지 중 인듐 노출농도는 접합공정이 1.25 ㎍/㎥, 마감공정은 1.87 ㎍/㎥으로 나타났다. 두 공정의 모두 일본 후생노동성에서 권고한 노출기준 10 ㎍/㎥의 0.1~0.2배 수준으로 노출기준을 초과할 가능성은 낮은 것으로 나타났다. 다만 기하표준편차가 접합공정은 3.071, 마감공정은 2.053으로 비교적 큰 것으로 나타나 일간변이를 관리할 필요성이 있는 것으로 나타났다. 작업장의 공기 중 호흡성 인듐농도는 접합공정이 0.30 ㎍/㎥, 마감공정이 0.46 ㎍/㎥로 나타났다. 개인시료는 장소시료의 2.24배에서 9.8배까지 높았으며, 개인시료는 장소시료에 비해 일간변이는 더 큰 것으로 나타났다. 따라서 정확한 개인의 노출을 정확히 평가하기 위해서는 장소시료보다는 개인시료를 채취해야 하며, 개인시료는 여러 날에 걸쳐 반복하여 측정하는 것이 필요한 것으로 보였다. 공기 중 호흡성 먼지의 인듐은 총 먼지 중 인듐과 비교하여 16-20% 수준인 것으로 나타났다.
공기 중 동일한 지점에서 동일한 시간대에 반복하여 총인듐을 채취한 시료를 실험실에서 분석한 결과, 반복시료간 변이는 13~74%로 비교적 크게 나타나, 공기 중 인듐농도를 정확히 평가하기 위해서는 시료수를 늘려야 하는 것으로 나타났다. 공기 중 동일한 지점에서 동일한 시간대에 2개의 호흡성인듐 개인시료 쌍을 두 실험실에서 나누어 분석한 결과, 두 실험실 분석결과의 평균값을 참값으로 가정했을 때, 두 실험실간 오차는 0~100%까지 나타났다. 같은 방법으로 장소시료를 두 실험실에서 분석한 결과, 차이는 2.7~180%로 나타났다. 장소시료에서 오차가 더 크게 나타난 것은 시료 중 인듐량이 적었기 때문이다. 한편 소혈정으로 제조한 혈중인듐 시료를 분석한 결과, 0.02 ㎍/L, 0.2 ㎍/L 및 2 ㎍/L에서 분석오차는 각각 –32%, 13% 및 24.4%로 나타났다.
Author(s)
오소라
Issued Date
2015
Awarded Date
2015-08
Type
Thesis
Keyword
인듐ITO targetIndium Tin Oxide접합공정마감공정호흡성 인듐총인듐인듐 혈청시료분석정확도비교
URI
http://dspace.hansung.ac.kr/handle/2024.oak/6177
Affiliation
한성대학교
Degree
Master
Publisher
한성대학교 대학원
Appears in Collections:
기계시스템공학과 > 1. Thesis
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